Septiembre / Octubre 2018
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04/10/2018 / Guillermo Rodríguez / 142 visitas

Espejos Planos Extreme Ultraviolet (EUV) desarrollados por Edmund Optics

 

Ideal para la dirección de haces y la investigación en ciencias de los materiales

Edmund Optics® (EO), el principal proveedor de componentes ópticos, presenta los espejos planos Extreme Ultraviolet (EUV). Estos espejos multicapa pulidos con precisión están diseñados para lograr la máxima reflectancia posible en la longitud de onda de diseño y el ángulo de incidencia (AOI). Están diseñados para aplicaciones de dirección de haz EUV y separación armónica.

 

Máxima reflexión alcanzable a 13,5 nm

Los espejos planos Extreme Ultraviolet (EUV) están disponibles en versiones de 5° y 45° AOI y ofrecen una reflectividad casi ideal a 13,5 nm, la longitud de onda de mayor reflectividad disponible en el espectro EUV. Los espejos compatibles con RoHS ofrecen un recubrimiento depositado sobre un sustrato de silicio monocristalino súper pulido para una estabilidad térmica superior. Con una rugosidad superficial inferior a 3 Å RMS, estos espejos EUV reducen en gran medida la dispersión de la luz incidente. El recubrimiento multicapa de metal/semiconductor incluye una multicapa de Molibdeno/Silicio con una capa superior de Silicio. Con una superficie plana de λ/10 a 632,8 nm y 6,35 mm de espesor, los espejos AOI de 45° son ideales para dirigir haces polarizados, mientras que los espejos AOI de 5° son excelentes para su uso con haces no polarizados.

 

Ideal para la investigación en CDI y ciencias de los materiales

Los Espejos Planos Extreme Ultraviolet (EUV) se utilizan para aplicaciones emergentes como la Imagenología Difractiva Coherente (CDI) y la investigación en ciencias de los materiales. El CDI es una técnica de imagen sin contacto, capaz de alcanzar resoluciones cercanas a los 10 nm y se utiliza comúnmente para analizar estructuras nanofabricadas extremadamente pequeñas. Los espejos también se utilizan como selectores de armónicos para haces de alta generación de armónicos (HHG).

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